Nanolithographie und Nanochemie: Sondentechniken zur Strukturierung und chemischen Modifizierung von Nanobauelementen

Abstract Da photolithographisch nicht beliebig kleine Bauelemente hergestellt werden können, werden andere Strukturierungstechniken intensiv untersucht. Insbesondere Rastersondenlithographie‐Techniken gelten als vielversprechend für die Erzeugung solcher Strukturen, und da ihre Anwendung relativ einfach ist, sind diese Methoden inzwischen weit verbreitet. Beispiele sind die Dip‐Pen‐Lithographie und die kraftinduzierte lokale Strukturierung ebenso wie die lokale Oxidation mit Sonden. Diese Techniken sind besonders interessant, da so Nanostrukturen erhalten werden, die chemisch und physikalisch modifiziert und funktionalisiert werden können. Somit ist nicht nur die Produktion von elektronischen Bauelementen möglich, sondern auch die Erzeugung von Strukturen für die molekulare Erkennung oder die Sensorik. Wir zeigen hier die Fortschritte bei der Entwicklung von automatisierten Multispitzen‐Rastersondensystemen und ihre Anwendung bei der lokalen Oxidation. Außerdem erläutern wir den Stand der Technik und die Perspektiven von Nanobauelementen.