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高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電特性に及ぼすアノードの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】 — Paul Kim Ho Chu (2016) | RDL Network
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高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電特性に及ぼすアノードの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】
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Paul Kim Ho Chu
高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電特性に及ぼすアノードの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】
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Paul Kim Ho Chu
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Xiubo Tian
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